硅基光电子集成技术是以硅和硅基衬底材料（如 SiGe/Si， SOI等）作为光学介质，通过互补金属氧化物半导体（CMOS）兼容的集成电路工艺制造相应的光子器件和光电器件（包括硅基发光器件、调制器、探测器、光波导器件等），并利用这些器件对光子进行发射、传输、检测和处理，实现光电子器件和系统的集成化和低成本化。硅基光电子技术结合了以微电子为代表的集成电路技术的超大规模、超高精度的特性和光子技术超高速率、超低功耗的优势，成为了后摩尔时代下重要的技术方向之一。将光子技术和微电子技术集合起来，发展硅基光电子科学和硅基光子集成技术意义重大。近年来，硅基光子集成技术的研究在国内外不断取得引人注目的重要突破，在数据中心、5G 通信、生物传感、微波光子、人工智能等领域有着巨大的应用前景以及现实的应用需求