关于硅及锗基电子器件研究的一些思考
报告人:赵毅
教授、博士,浙江大学集成电路先导技术研究所所长。长期从事先进集成电路制造与相关器件方面的研究,曾多年在东京大学、加州大学伯克利分校和 IBM国际半导体研发联盟学习和工作。在面向 10 纳米以下CMOS 集成电路应用的硅和锗基器件设计、制造工艺和测试技术方面已取得了若干重要的创新研究成果。2011 年入选国家“千人计划(青年项目)”。负责 10纳米以下相关集成电路技术的国家“973”计划相关课 题和国家 “02”重 大 科 技 专 项 子 课 题 。 目 前 担 任International Electron Device Meeting(IEDM)、 European Solid-State Device Research Conference(ESSDERC)和International Reliability Physics Symposium (IRPS)的技术委员会委员