跨维度异质集成技术
报告人:朱健
研究员,现任中国电子科技集团有限公司集团首席科学家,南京大学博士生导师。中央军委科学技术委员会电子领域专家委员会委员,中央军委装备发展部微电子技术专业组专家,中国航空元器件专家组专家,国家自然科学基金委员会评审专家,是我国射频 MEMS 与射频微系统领域领军人才。2005-2020 年国际DTIP OF MEMS/MOEMS Technical Program Committee。中国微米纳米技术学会常务理事,中国半导体行业协会 MEMS 分会副理事长,MEMS 国家地方联合工程实验室学术委员会委员,江苏省人工智能学会常务理事。 Microsystem Technologies、Analog Integrated Circuits and Signal Processing 等国际专业期刊审稿人,享受政府特殊津贴。主持国家重大专项、国际合作、973、863、基金等 70 余项,国内外著名期刊发表论文 100 余篇,出版著作:《RF MEMS 器件设计、加工和应用》,发明专利 40 余项。