先进CMOS器件与工艺
报告人:张卫
复旦大学微电子学院院长,复旦大学校学术委员会副主任,教育部长江特聘教授,国务院特殊津贴获得者。担任“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家重大专项(02 专项)总体专家组技术副总师,工信部通信科学技术委员会委员,教育部科技委信息学部委员, 长三角集成电路设计与制造协同创新中心常务副主任,《半导体学报》副主编,上海证券交易所科创板专家咨询委员会委员。长期从事集成电路工艺、半导体新器件和半导体材料的研究。已在 Science, Nature Nanotechnology, Nature Materials, IEEE Electron Device Letters,IEEE Tran.on Electron Devices 等国际学术期刊和会议上发表论文 300 多篇,申请专利 200 多项,其中美国专利 39 项。